8月15日，中国科学技术协会在第二十二届中国科协年会上，发布了2020年对科学发展具有导向作用、对技术和产业创新具有关键作用的20项前沿重大科学问题和工程技术难题，其中中国计量测试学会推荐的“如何解决集成电路制造工艺中缺陷在线检测难题？”位列其中。
         问题：如何解决集成电路制造工艺中缺陷在线检测难题？
         在上一代国家集成电路制造02专项中，缺陷在线检测设备的研发投入相对较少，我国在该领域存在明显短板，设备水平远落后于发达国家，因此，缺陷检测设备是我国半导体产业链中最薄弱的环节之一，研发集成电路高灵敏度缺陷在线检测技术与装备迫在眉睫。
         集成电路领域目前是国际科技竞争的主战场和大国博弈焦点。对于集成电路缺陷检测技术及设备，一方面现有最先进技术设备被少数几个发达国家垄断，对我国技术封锁；另一方面，世界范围内7纳米及以下节点的缺陷在线检测技术仍未成熟，设备缺口仍然巨大，谁率先掌握了相应关键技术，谁就掌握了未来主导权，这对我国来说既是机遇又是挑战。因此，突破下一代节点集成电路制造缺陷在线检测技术，不但可以打破以美国为首的技术封锁，解决“卡脖子”问题，还将提升我国制造业整体水平，为交叉领域科技发展产生重大影响力和引领推动作用，同时带来巨大经济效应和国际影响力，占领国际竞争至高点。
         中国计量测试学会已组织相关领域院士、专家与问题提出人进行座谈，并向上级提出了科技工作者建议拟稿。