各有关单位：

　　根据《中国计量测试学会科学技术进步奖管理办法》有关规定，2025年度中国计量测试学会科学技术进步奖经初审、复审和评审委员会终审，并在中国计量测试学会官网公示无异议，现决定授予“半导体晶圆深亚波长缺陷多模态一体化检测技术及装备”等24个项目2025年度中国计量测试学会科学技术进步奖（获奖项目和等级见附件）。

　　望各获奖单位和人员以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，深入贯彻党的二十大和二十届历次全会精神，弘扬科学家精神，聚焦高水平科技自立自强，深化计量测试技术攻关与成果转化，加快构建国家现代先进测量体系，以计量创新助力新质生产力发展，为服务高质量发展作出新贡献。

　　特此决定。

　　附件：获奖项目名单

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　中国计量测试学会

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2026年4月7日　　　　　　　　　

关于授予“2025年度中国计量测试学会科学技术进步奖”奖励的决定.PDF