同济大学李同保院士团队扎根纳米计量关键技术二十余年,提出了有别于欧美的、具有完全自主知识产权的量子化实物基准的纳米计量体系。团队面向传统产业纳米计量体系存在的标准物质溯源链长、计量校准仪器鲁棒性弱、产业应用覆盖面窄的三方面的难题。揭示了量子化跃迁频率锁定的激光冷原子沟道化机制,研制了直接溯源型标准物质、直接溯源型光栅干涉仪、计量型原子力显微镜、晶圆级标准片等。团队整体技术成果已达到国际先进水平,其中直接溯源型长度、角度标准物质和直接溯源型光栅干涉仪已达到国际领先水平。在集成电路等纳米制造行业和德国联邦物理技术研究院(PTB)、中国计量测试技术研究院、中国航空工业北京长城计量测试技术研究所等计量机构实现典型应用,满足了国家相关战略需求。
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